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——MA6/BA6光刻键合机维修光刻工艺是半导体器件加工工艺过程中的核心工艺环节之一，是硅结构图形化时不可获取的步骤。SUSS MA6/BA6光刻机设备单价223万元人民币，是我院购置的首台百万元以上高值贵重设备，自2002年开始使用，在工程团队精心地维护下，已平稳运行近20年。但随着设备使用年限的逐渐增加，由于零备件老化而产生的各类故障问题凸显出来。MA6/BA6光刻键合机 2021年6月23日，光刻机在用户正常开机使用的过程中，...
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萨本栋微米纳米科学技术研究院的微纳加工测试仪器共享平台，成立至今已有二十年，至2020年底，平台拥有单价50万以上贵重设备18台，10万元以上50万元以下设备15台，设备总价值超过5000万元。平台有三分之一以上的仪器设备运行时间超过15年，且多为核心工艺设备，已经出现了明显磨损或者严重老化的现象。研究院深入贯彻落实习近平总书记关于厉行勤俭节约、反对铺张浪费重要批示指示精神，传承校主陈嘉庚先生“无为之费，一文宜吝...
为把疫情期间耽误的科研时间争分夺秒地抢回来，萨本栋微纳加工测试平台的工程师们在暑假期间大幅度减少休假时间甚至放弃休假，他们在做好日常防疫工作的同时，以保障平台每天24小时全天候运行并对外开为把疫情期间耽误的科研时间争分夺秒地抢回来，萨本栋微纳加工测试平台的工程师们在暑假期间大幅度减少休假时间甚至放弃休假，他们在做好日常防疫工作的同时，以保障平台每天24小时全天候运行并对外开放。若要确保平台洁净...
