高级工程师

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  吕文龙 高级工程师 

  电话：2186890

  邮箱：lwl1980@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）、微控扩散炉、探针式轮廓仪、显微共焦拉曼光谱仪和四探针电阻测试仪等
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  谷丹丹 高级工程师 

  电话：2186890

  邮箱：gdd@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：Karlsuss双面光刻键合对准，Nikon L150金相显微镜，AML键合机，喷涂胶机
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  张玉龙 高级工程师 

  电话：2186890

  邮箱：zyl98@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：Alcatel深硅刻蚀系统、激光共聚焦显微镜、铝丝压焊机
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  崔景芹 高级工程师 

  电话：

  邮箱：jqcui@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆306室

  负责：ET2000化学气相沉积、共聚焦显微拉曼光谱仪
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  曾毅波 高级工程师 

  电话：2187739

  邮箱：zyb2005@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：清洗、腐蚀，化学机械抛光机（CMP），IV/CV半导体参数测试系统，等离子去胶机，清洗甩干机

工程师

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  卜祥建 工程师 

  电话：

  邮箱：bxj@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学翔安校区航空航天学院119

  负责：机械优化设计；工程机械NVH；工业大数据
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  王加钦 工程师 

  电话：2187739

  邮箱：memsw@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：洁净实验室环境设计规划，洁净室系统维护管理，特气系统设计规划管理，划片机
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  何功汉 工程师 

  电话：2185927

  邮箱：hgh@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学翔安校区新工科大楼507

  负责：实验秘书，福建省高端装备智能传感与控制工程研究中心秘书，研究生机器人创新比赛，JSM-IT500A扫描电镜
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  苏丽锦 工程师 

  电话：2187739

  邮箱：lijinsu2003@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：Karlsuss双面光刻键合对准，Nikon L150金相显微镜，喷涂胶机
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  张艳 工程师 

  电话：2186890

  邮箱：zhangyan2003@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：Alcatel深硅刻蚀系统，LPCVD，等离子去胶机，划片机
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  张春权 工程师 

  电话：2186890

  邮箱：cqzhang@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：PECVD，电子束蒸发台，JC500-3-D磁控溅射镀膜机，JS-3X-100B磁控溅射台，ICP-2B刻蚀机，Dektak 3 测厚仪
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  陈彬彬 工程师 

  电话：2186890

  邮箱：cbb81@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：负责： 程控小扩散炉，四吋四管微控扩散炉，D41-11A-ZM 四探针电阻测试，石英管清洗机
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  郑玲玲 工程师 

  电话：2186896

  邮箱：zhengll@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学文宣楼510室

  负责：SUPRA55场发射扫描电子显微镜，EDS能谱仪，电子束曝光系统，喷金仪
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  蒋书森 工程师 

  电话：2187739

  邮箱：hanson_jiang@xmu.edu.cn

  地址：厦门大学亦玄馆202室

  负责：AML键合机，LPCVD，IV/CV半导体参数测试系统，铝丝压焊机，激光共聚焦显微镜, 化学机械抛光机（CMP）