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    【设备维护】萨本栋微纳院践行节约理念 让旧设备再焕青春与活力

    萨本栋微米纳米科学技术研究院的微纳加工测试仪器共享平台,成立至今已有二十年,至2020年底,平台拥有单价50万以上贵重设备18台,10万元以上50万元以下设备15台,设备总价值超过5000万元。平台有三分之一以上的仪器设备运行时间超过15年,且多为核心工艺设备,已经出现了明显磨损或者严重老化的现象。

    研究院深入贯彻落实习近平总书记关于厉行勤俭节约、反对铺张浪费重要批示指示精神,传承校主陈嘉庚先生“无为之费,一文宜吝;正当之用,千金慷慨”的理念,行简约、倡简朴、勤俭并举,筑牢“过紧日子”意识,院工程技术团队在院领导的带领下,迎难而上,充分发挥经验丰富、动手能力强的优点,刻苦钻研、自力更生、精准施策,让旧设备再焕青春与活力。

    建章立制 规范操作流程

    院领导带领办公室和工程技术团队,制定一系列关于平台和洁净室的操作规范总则、安全管理办法等规范性文件和详细的操作说明并严格执行相关制度,确保每位实验人员均能规范遵照操作规程,以保障平台的设备能够长时间、稳定、可靠地运行。平台运行二十年来,从未因操作失当,造成设备故障,乃至停机的问题,从而大大减少额外的维修与零部件替换成本。

    克勤于邦 节约维护成本

    从传统的“被动维护”转变为“主动预防性维护”。光刻机是微纳米加工所需工艺设备的核心中的核心,平台中MA6光刻键合机运行接近20年,显微镜灯源、汞灯、密封圈等易损零部件老化的问题不可避免,而且随着使用时间的延长,小问题、小故障出现的次数势必明显增加。负责该设备的谷丹丹、张艳和苏丽锦等3位老师凭借她们多年的工作经验,精准预测可能会发生的故障,自己动手提前更换易损部件,最大限度的减少非计划性设备维护停机时间,在三位老师的精心维护下,使用了近20年光刻机如今依旧是平稳如常地运行。

    坚持“厉行节约、自修和外修相结合”原则。小至电容、控温控制器、蠕动泵更换,大至贵重设备所需管道因老化而重新设计和更换、电路重新布局和安装,除少数关键的核心部件外,绝大多数维护工作都由工程技术团队自行调试和解决。

    寻求高品质的国内外协厂商代替设备供应商,降低维护成本。张玉龙老师负责的深硅刻蚀系统中的关键核心部件(包括射频源和分子泵)需要定期外协维护,设备供应商维护报价每次不少于5万元,为节约经费,张老师经过多方调研、比较,发现若把核心部件送至国内外协厂商进行维护,在保障维护水准的前提下,每次维护费用不超过1.5万元;经过不懈努力,此方案不仅显著降低了设备的维护成本,而且深硅刻蚀系统仍旧保持了原有工艺水平,持续以高效准确的深硅刻蚀能力服务于广大师生。

    维修重组,变“废”为“宝”。平台尽力发掘报废设备身上所存在的剩余“价值点”。张春权老师从即将报废的设备上拆卸下射频发生器、流量计、真空计、电磁阀等部件,安装到已经运行接近20年原相关部件已老化的磁控溅射镀膜机设备上。该国产设备目前仍旧以无故障,良好状态服务,并可实时接受校内外预约。

    与设备商建立良好的协作关系,降低必要零部件的采购成本。负责化学机械抛光机的曾毅波老师时常与设备供应商就设备软硬件改进、工艺提升等方面进行指导与交流,并及时互通双方在工艺或者设备采购等方面的需求信息。在此良好互动的基础上,供应商免费赠送了我院两个升级后的抛光夹具,节省采购经费12万元。

    团结协作,敢当“绿叶”。技术团队中的每位成员均负责数台仪器设备的管理,但是在不是其管理的设备出现故障需要维护时,他们不会袖手旁观,积极发挥“补台”和“抢干”的精神。尤为值得一提的是,负责后勤动力管理的王加钦老师凭借多年丰富的设备维修经验,制定了每一台设备的维护方案,并亲力亲为,在这不显山不露水的设备维护工作中甘当“绿叶”,默默奉献。正是有了技术团队成员之间这种心往一处想,劲往一处使的团结协助精神,才能确保每一项设备维护任务平稳有序地进行。

    克俭于家 平台高效运转

    面对维护资金少的困境,技术团队群策群力,集思广益,秉持厉行节约的原则,咬紧牙根,过“紧日子”,从而确保平台上所有仪器能够在低成本维护条件下,长时间可靠地运行。钱要花在刀刃上,平台从收取有限的测试、工艺费中结余出部分经费用于添置、更新必备的仪器设备,以维持平台高水平的运转;近三年,院领导运筹帷幄,在没有专项资金的扶持下,先后购置了台阶仪、横向减薄机、电子束蒸发、大尺寸磁控溅射台等贵重仪器,从而进一步提升平台整体微纳米加工、表征的水平和能力。

    发布时间:2021/05/07 09:21:33  浏览次数: