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光刻机恢复工作通知

发布：2013年07月11日 10:37点击量：

 微机电中心洁净室内光刻机已恢复，可开始光刻工艺实验。但是由于清洗间排风尚未恢复，请妥善安排工艺流程，防止工艺衔接脱节。

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