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高级工程师
谷丹丹 高级工程师
电话:
2186890
邮箱:
gdd@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
Karlsuss双面光刻键合对准,Nikon L150金相显微镜,AML键合机,喷涂胶
吕文龙 高级工程师
电话:
2186890
邮箱:
lwl1980@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
PECVD,程控小扩散炉,四吋四管微控扩散炉,D41-11A-ZM 四探针电阻测试,石英管清洗机,Dektak 3 测厚
曾毅波 高级工程师
电话:
2187739
邮箱:
zyb2005@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
清洗、腐蚀,化学机械抛光机(CMP),IV/CV半导体参数测试系统,等离子去胶机,清洗甩干
崔景芹 高级工程师
电话:
0592-2187173
邮箱:
jqcui@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆306室
负责:
ET2000化学气相沉积、共聚焦显微拉曼光谱仪
张玉龙 高级工程师
电话:
2186890
邮箱:
zyl98@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
Alcatel深硅刻蚀系统、激光共聚焦显微镜、铝丝压焊机
工程师
苏丽锦 工程师
电话:
2187739
邮箱:
lijinsu2003@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
Karlsuss双面光刻键合对准,Nikon L150金相显微镜,喷涂胶
陈彬彬 工程师
电话:
2186890
邮箱:
cbb81@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
厦门大学亦玄馆202室负责: 程控小扩散炉,四吋四管微控扩散炉,D41-11A-ZM 四探针电阻测试,石英管清洗
张春权 工程师
电话:
2186890
邮箱:
cqzhang@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
PECVD,电子束蒸发台,JC500-3-D磁控溅射镀膜机,JS-3X-100B磁控溅射台,ICP-2B刻蚀机,Dektak 3 测厚
王加钦 工程师
电话:
2187739
邮箱:
memsw@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
洁净室空调管理、维护,液氮充灌,气体管理,三废处理,部分强电维护,划片
张艳 工程师
电话:
2186890
邮箱:
zhangyan2003@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
Alcatel深硅刻蚀系统,LPCVD,等离子去胶机,划片
蒋书森 工程师
电话:
2187739
邮箱:
hanson_jiang@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学亦玄馆202室
负责:
AML键合机,LPCVD,IV/CV半导体参数测试系统,铝丝压焊机,激光共聚焦显微镜, 化学机械抛光机(CMP
郑玲玲 工程师
电话:
2186896
邮箱:
zhengll@xmu.edu.cn
地址:
厦门大学文宣楼510室
负责:
SUPRA55场发射扫描电子显微镜,EDS能谱仪,电子束曝光系统,喷金仪