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高级工程师
谷丹丹 高级工程师
电话：
2186890
邮箱：
gdd@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
Karlsuss双面光刻键合对准，Nikon L150金相显微镜，AML键合机，喷涂胶
吕文龙 高级工程师
电话：
2186890
邮箱：
lwl1980@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
PECVD，程控小扩散炉，四吋四管微控扩散炉，D41-11A-ZM 四探针电阻测试，石英管清洗机，Dektak 3 测厚
曾毅波 高级工程师
电话：
2187739
邮箱：
zyb2005@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
清洗、腐蚀，化学机械抛光机（CMP），IV/CV半导体参数测试系统，等离子去胶机，清洗甩干
崔景芹 高级工程师
电话：
0592-2187173
邮箱：
jqcui@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆306室
负责：
ET2000化学气相沉积、共聚焦显微拉曼光谱仪
张玉龙 高级工程师
电话：
2186890
邮箱：
zyl98@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
Alcatel深硅刻蚀系统、激光共聚焦显微镜、铝丝压焊机
工程师
苏丽锦 工程师
电话：
2187739
邮箱：
lijinsu2003@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
Karlsuss双面光刻键合对准，Nikon L150金相显微镜，喷涂胶
陈彬彬 工程师
电话：
2186890
邮箱：
cbb81@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
厦门大学亦玄馆202室负责： 程控小扩散炉，四吋四管微控扩散炉，D41-11A-ZM 四探针电阻测试，石英管清洗
张春权 工程师
电话：
2186890
邮箱：
cqzhang@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
PECVD，电子束蒸发台，JC500-3-D磁控溅射镀膜机，JS-3X-100B磁控溅射台，ICP-2B刻蚀机，Dektak 3 测厚
王加钦 工程师
电话：
2187739
邮箱：
memsw@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
洁净室空调管理、维护，液氮充灌，气体管理，三废处理，部分强电维护，划片
张艳 工程师
电话：
2186890
邮箱：
zhangyan2003@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
Alcatel深硅刻蚀系统，LPCVD，等离子去胶机，划片
蒋书森 工程师
电话：
2187739
邮箱：
hanson_jiang@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学亦玄馆202室
负责：
AML键合机，LPCVD，IV/CV半导体参数测试系统，铝丝压焊机，激光共聚焦显微镜, 化学机械抛光机（CMP
郑玲玲 工程师
电话：
2186896
邮箱：
zhengll@xmu.edu.cn
地址：
厦门大学文宣楼510室
负责：
SUPRA55场发射扫描电子显微镜，EDS能谱仪，电子束曝光系统，喷金仪
