技术团队
      高级工程师
      张玉龙

      张玉龙 高级工程师

      电话:2186890

      邮箱:zyl98@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 Alcatel深硅刻蚀系统、激光共聚焦显微镜、铝丝压焊机

       

      曾毅波

      曾毅波 高级工程师

      电话:2187739

      邮箱:zyb2005@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 清洗、腐蚀,化学机械抛光机(CMP),IV/CV半导体参数测试系统,等离子去胶机,清洗甩干机

       

      吕文龙

      吕文龙 高级工程师

      电话:2186890

      邮箱:lwl1980@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责  PECVD,程控小扩散炉,四吋四管微控扩散炉,D41-11A-ZM 四探针电阻测试,石英管清洗机,Dektak 3 测厚仪

       

      工程师
      蒋书森

      蒋书森 工程师

      电话:2187739

      邮箱:hanson_jiang@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责AML键合机,LPCVD,IV/CV半导体参数测试系统,铝丝压焊机,激光共聚焦显微镜, 化学机械抛光机(CMP)

      谷丹丹

      谷丹丹 工程师

      电话:2186890

      邮箱:gdd@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 Karlsuss双面光刻键合对准,Nikon L150金相显微镜,AML键合机,喷涂胶机

      张艳

      张艳 工程师

      电话:2186890

      邮箱:zhangyan2003@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 Alcatel深硅刻蚀系统,LPCVD,等离子去胶机,划片机

       

      张春权

      张春权 工程师

      电话:2186890

      邮箱:cqzhang@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 PECVD,电子束蒸发台,JC500-3-D磁控溅射镀膜机,JS-3X-100B磁控溅射台,ICP-2B刻蚀机,Dektak 3 测厚仪

      陈彬彬

      陈彬彬 工程师

      电话:2186890

      邮箱:cbb81@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责 程控小扩散炉,四吋四管微控扩散炉,D41-11A-ZM 四探针电阻测试,石英管清洗机

       

      苏丽锦

      苏丽锦 工程师

      电话:2187739

      邮箱:lijinsu2003@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责Karlsuss双面光刻键合对准,Nikon L150金相显微镜,喷涂胶机

       

      王加钦

      王加钦 工程师

      电话:2187739

      邮箱:memsw@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责洁净室空调管理、维护,液氮充灌,气体管理,三废处理,部分强电维护,划片机

       

      李明泼

      李明泼 工程师

      电话:2187739

      邮箱:lixun@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学亦玄馆202室

      负责机械设备维护,小型设备及零部件的制图、制作,洁净室空调管理,洁净室洁净度测试

       

      助理工程师
      郑玲玲

      郑玲玲 助理工程师

      电话:18959210837

      邮箱:zhengll@xmu.edu.cn

      地址:厦门大学文宣楼510室

      负责SUPRA55场发射扫描电子显微镜,EDS能谱仪,电子束曝光系统,喷金仪